水晶振動子マイクロバランス(QCM-D):フォトレジストの洗浄機構の見える化

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主な特長

界面活性剤の吸脱着挙動解析から、最適な原料選定まで

当社では、水晶振動子マイクロバランス(QCM-D)を用いて、界面活性剤の吸脱着挙動を数値化する受託試験を行なっております。経時的な吸脱着挙動の変化を詳細に捉えることができるので、洗浄、分散、表面改質といった各種プロセスの最適化や品質向上に貢献します。

お客様の課題に応じた最適な基板を作成し、高精度な評価とデータ解析が可能です。

また、長年培ってきた界面化学のノウハウを活かし、用途に合わせた最適な界面活性剤のご提案までトータルでサポートいたします。

<実施例(一部)>

・製造、建築、塗料 : コーティング剤の被覆性評価、耐久性評価

・電子材料、半導体 :洗浄プロセスの評価(洗浄度合い、再付着防止の経時変化など)

・化粧品原料    :酸化チタンなど無機顔料に対する表面処理剤の吸着挙動や被覆状態の評価

オーダーメイド基板による評価で実プロセスを再現

界面活性剤の吸脱着の様子や、吸着により表面の性質がどのように変化したのかを読み取るのにオススメな測定方法が水晶振動子マイクロバランス(QCM-D)です。センサーを共振させたときに得られる周波数の変化を捉え続けることで、繰り広げられる現象が手に取るようにわかります。

QCM-Dは、水系だけでなく、電子材料分野で必須となる有機溶媒を用いた測定にも対応可能です。

また、ナノグラムオーダーの質量変化を捉えることができるため、貴重なサンプルや微量な成分でも確実な評価が可能です。プロット間隔を細かく設定することで、微細な経時変化も詳細に追跡します。

日光ケミカルズでは、実際の汚れなどの付着物を再現し、その付着物が膨潤して剥がれるか、どれだけの時間で洗浄できるかなどを数値化をしています。お客様の課題に応じた最適な基板を作成し、高精度な評価とデータ解析が可能です。

実施例:ポリマー樹脂の再付着防止挙動の検証

洗浄剤に用いる界面活性剤の成分や濃度は最適になっているか?

どれくらいの速度で洗浄できるのか?

電子材料分野では、薬液によるフォトレジストの膨潤や洗浄作用は、製品の品質に大きな影響を与えます。特に、剥離プロセスでは、精度が高く素早い洗浄が不可欠です。

フォトレジストに付着するポリマー樹脂を測定基盤上に再現し、洗浄液を流すことで、フォトレジスト膜の洗浄過程を可視化し、洗浄プロセスや洗浄剤の改善に役立てることができます。

日光ケミカルズでは、これらの測定・解析結果を応用し、最適な界面活性剤のご提案やお客様のご要望に応じた原料開発などの技術サポートも可能です。

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